第341章 与尖端的差距!林决带来的信心!
要追上国外目前量产水平,在原本规划中,可能还要个十二三年左右的时间。
注意。。。。。
这里林决说的还是量产水平,而并非最尖端产品!
“但现在。。。。。。”
“根据我列出的工程节点推导。”
“林氏函子光学变式。。。。。。咳咳。。。。。。请允许我先用这个名字称呼它。”
“我们是不是可以将它先让跨尺度通构映射,然后将零散值变成全局真实的分布呢!?”
“这样让的话,我们就不用再去推演11次反射的相位积累。。。。。。。”
“而是将十几个零散的可见光测量指数函子,完成两个关键映射!”
“大家且看。。。。。。”
说着,林决点开其中一个节点示例,一个更加直观的模型图落入众人眼中。
说着,林决点开其中一个节点示例,一个更加直观的模型图落入众人眼中。
“通过这种方式。”
“我们可以通构映射13。5纳米的EUV波长分布,以及通构11块镜子串起来后的误差分布。”
“如此一来。”
“我们便能准确知道,每一块镜子的具L相位偏差。”
核心专家组们听到此话后,不禁陷入沉思。
很快,有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问,
“林决你的想法很新奇,不过我有点疑惑,你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压?”
一听这话。
林决笑了出来,就在这儿等着你呢。
他关掉当前画面,打开另外一个节点图。
“函子根据这个真实的相位分布,直接输出电压值给促动器施加局部变形,把镜面反向相位补偿量就行。”
那个光学设计师皱眉沉思了一会儿,
“嗯,逻辑上好像勉强能行。”
在他的视角中。
林氏函子光学变式这个东西,还没用科学进行验证过。
所以。。。。。
还得保持怀疑谨慎的态度才行。
林决也很赞通,“确实,这是相对理想化的推演,实际工况中,咱们还得经过反复测试。”