第355章 我若不成，自有后来人

“快说说，是用的什么方法！？”

陈望山的话，立马勾起胡闻洲的好奇。

不过。

此时陈望山却是卖了他一个关子，笑着咳了咳，这才开口，

“在说之前，我想先问一问老胡你，如果是你来改进的话，你会用什么方法？”

胡闻洲闻言，倒也不藏着掖着，

“我的初步预想是，通过控制频率和电压输出。。。。。。最后再用多次曝光来提高精度。。。。。。”

陈望山点了点头。

这跟之前开会时，卢敬尧提出的方案思路是差不多的。

作为行业内资深工程师，这其实是最常规，也是最大力出奇迹的方法。

因为在面对此问题的时侯。

大家几乎都是惯性思维。

想着解决根源性问题，来处理掉误差。

说完后，胡闻洲微微一顿，语气中的好奇更甚，

“不过既然你都这么问，那林决肯定不是用的我的思路了。”

“是的。。。。。。”

陈望山脑海中，回忆起当时开会时侯的情景，嘴角露出些许笑容道，

“林决提出的是一个名为‘零偏映射’的新思路。”

“零偏映射？”

“是的。”陈望山把筷子放下，“老胡，你知道123个促动器控制的波前点吧？”

胡闻洲想也不想便回答，“108个。。。。。。”

“对！林决他说，132个电压促动器多出了24个冗余自由度！也就是说，通一个波前有无数种电压组合。

我们传统的让法是取电压最小的那组。。。。。

但林决却说。

只要波前达标解空间里取到镜面应力最小的组。。。。。。精度就能回来！

甚至可能比测试中，所达到0。18nm

RMS平均值更高。。。。。。。”

胡闻洲沉默。

在脑海中简单理了一下思路。

作为前光刻机领域带头人。