第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风
得在中午吃饭的时侯,跟所里说说这个情况。
“至于改进方案。。。。。。”
“从整套流程来看,可以从输出频率出发,然后再通过降电压和控制曝光,将这三个指标控制在相对稳定的状态。。。。。。”
“但如此一来。”
“原本可能达到0。15nm
RMS的精度,只能稳定在0。20左右了。”
“不过,即使是这个数据,林决也让得足够好了。。。。。。
拥有0。20nm
RMS精度的指标,再通过多重曝光,应该已经可以造成7nm以内的芯片。
就算不能量产,那也是巨大的进步了。”
能在一个月内,就将光机所研究了许多年的多层膜问题解决,已经足够说明林决的潜力。
至于更进一步。
胡闻洲笑着摇头,
“总不能光靠林决,就想着把产业链代差问题也搞定了吧?”
。。。。。。。。
中午的时侯。
胡闻洲给黄所那边打了个电话过去。
然后得到消息是。。。。。核心专家组正在开会。
具L一点,是发现整机流程中,出现了波前误差偏振问题,在高电压下,极限误差会来到0。24nm
RMS。
“果然如此吗?”
胡闻洲没有一点意外,
“这样吧,你让老陈开完会给我打个电话。”
说着,他看了看电脑上的方案初步构想,
“就说波前误差解决的方法,我有点想法要跟他交流交流。”
“行。。。。。。”
。。。。。。。。
下午三点半。
陈望山的电话打到了胡闻洲手机上。
“老胡,你有事找我?”