第350章 测试完成！让人惊艳的指标！
【24小时套刻精度：1。8nm】
当看到这个数据，整个实验室的工程师们不由为之一震！
紧接着，一股巨大的喜悦涌上众人心头！！
这绝对是巨大的进步啊！！
要知道。
目前在国际上。。。。。。
全链路波前误差0。15
nm
RMS以内，加对比度上70%，再加24小时套刻精度进入2nm，这几组数据通时达标，便标志着真正的与世界一流接轨了！
而现在呈现出的数据呢？
虽然在400次的测试中，全链路拨前误差，仍旧差了0。03
nm
RMS！
但在过程中。。。。。。
有近2成的情况，全链路拨前误差都能够压到0。12以下！！！
这代表什么？
代表林决这套方案，已经完全能够EUV
反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差问题的！
至于那0。03的差距。。。。。。
那并非是林决方案的问题，而是设备和材料上工艺上的差距！！！
而且。。。。
就算存在这种差距，现在看来也并非不能解决！
这一刻。。。。。
以前在众人在光刻机研发中，那种只能望其项背的感觉，在这一刻。。。。。。彻底消失了！
他们不但能够迫近，甚至偶尔能够让到超越一流标准的数据了，这是在以前想也不敢想的事情！！！
“成了！连续四百组不通工况中，我们也能跑出稳定的结果了！！！”
在众人噤声屁片刻后。
在操控台的蒋墨双手握拳高举，让出了污渍请为我欢呼的香槟手势，
“一个月都没到啊，咱们就把光路测试完成了，还有谁！还有谁啊！？”
什么叫队友强，我猖狂？