第337章 这些难题有劲儿！决神出歌了？（加更）

不过嘛。。。。。

现在国内整个领域，能统领这个实验室的，可能一只手都能数得过来！

接下来的一个半小时。

林决又看了看EUV等离子L锡光源发生系统，超精密双工件台系统，以及多层膜反射镜检查镀膜一L机。。。。。。

而在近距离接触这些玩意儿后。

林决心中那股学习的欲望，此时正在不断膨胀和疯涨！

虽然此时实验室设备并未真正运行。

但在林决脑海中，在【超频】加持下。

但在林决脑海中，在【超频】加持下。

这里的整个系统，已经开始运转联动着！

光子的诞生、光路整形、杂光掩灭、精准反射、纳米刻蚀、精密检测。。。。。。。

眼前这座国家级实验室里面的所有设备，已经基本复刻的EUV光刻最核心的微观光学原理！

不过。。。。。。

如此精密的系统，却只是系统验证平台和光学实验装置。

它还并不是大众所熟知的EUV光刻机！

而真正的光刻机。。。。。

是在这些原理上，再精密千倍万倍！！！

林决接下来要让的。。。。。。

是将数套精密的的系统耦合，让他们持续稳定运行上亿次的通时，还要消除长期工况下热漂移和振动干扰！

除此之外。。。。。

还有纳米级的重复定位精度，记足晶圆产量的持续产能与良品率等等等等。。。。。。。

“呼。。。。。。”

林决长长吐出一口气。

这些难题有劲儿，还真是道阻且长啊。

不过嘛。。。。。

这才有意思！

不难的问题，我还不乐意搞呢！

。。。。。。。。。。

而另一边。

今天光刻板块的股票猛涨的事情，早已经在网络快速发酵，冲上各大平台热搜！！！